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全自動去膠機:助力精密制程中光刻膠高效去除的自動化設備
在半導體芯片制造、LED芯片制程、MEMS加工以及先進封裝領域,光刻膠作為圖形轉移的關鍵材料,在完成刻蝕或離子注入等工藝步驟后,需要從基片表面清除,以確保后續薄膜沉積或電學接觸的質量。全自動去膠機專為滿足這一需求而設計,通過化學溶劑浸泡、噴淋、兆聲波清洗或等離子體灰化等技術組合,有效去除基片表面的光刻膠殘留,并為晶圓、玻璃基板或其他襯底材料提供清潔的表面狀態。該設備以自動化運行為主要特征,適合批量處理場景,有助于提升制程的一致性和生產效率。工作原理與工藝流程全自動去膠機的基本...
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膜厚測量儀:支持薄膜工藝監控與品質判定的客觀依據
在半導體、光學鍍膜、平板顯示、新能源電池以及表面工程等領域,薄膜厚度是決定產品功能和性能的關鍵幾何參數之一。無論是僅數納米的柵氧化層,還是數微米的光學增透膜,厚度偏差都可能導致器件電學性能漂移、光學特性偏移或機械可靠性下降。膜厚測量儀通過光學、機械或電學等非破壞性或破壞性測量原理,為各類薄膜提供定量化的厚度數據,幫助工藝人員監控沉積或生長過程的穩定性,并為產品質量判定提供客觀依據。常見測量原理與技術路徑膜厚測量依據薄膜材料性質、厚度范圍和應用場景的不同,衍生出多種測量方法。光...
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實驗室無掩膜曝光機的工作邏輯你了解多少呢
實驗室無掩膜曝光機是面向科研場景的數字化光刻設備,無需傳統光掩模版即可直接將數字圖案投射到基底上完成曝光,是微納加工、半導體實驗室的核心研發設備。設備支持多種圖形格式導入,可實現任意復雜圖形的曝光,包括定制化微結構、陣列圖形、漸變圖形等,無需受掩模版固定圖形的限制。同時,支持在線編輯圖形參數,可快速調整線寬、間距、曝光劑量等,適配半導體器件、生物芯片、微光學元件、柔性電子等多領域的科研需求。實驗室無掩膜曝光機搭配高精度光學系統與運動平臺,可以滿足大部分微納科研場景的精度要求。...
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等離子清洗機:精密制造的干式表面處理基石
在半導體、光學、醫療與新能源的微觀世界里,哪怕納米級的有機殘膠、原生氧化層或脫模劑,都會讓鍍膜脫落、鍵合虛焊、生物相容性不達標。傳統濕法清洗依賴強酸強堿,易留殘留、傷基材、產生廢液;等離子清洗機用低壓射頻激發的離子、自由基與活性物種,以“物理轟擊+化學分解”的雙重作用做干式處理,成為制造中表面潔凈、活化與改性的通用平臺。在半導體與先進封裝全流程,它是隱形的良率守護者:光刻前去除晶圓表面微粒與吸附水,保障光刻膠均勻附著與圖形轉移;刻蝕/CMP后用各向異性灰化去除聚合物殘渣,避免...
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方寸之間的微影魔術——桌上型顯影機原理與PCB制板應用
在電子工程教學、科研院所原型驗證以及中小型電子企業的新產品試制中,印刷電路板(PCB)的快速打樣能力直接決定了研發迭代的效率。傳統的濕膜光刻工藝往往需要龐大的生產線支持,而桌上型顯影機的出現,將這一復雜的化學處理過程濃縮至桌面空間。它通過精確控制噴淋化學反應,將光刻膠掩膜下的電路圖形清晰地顯現出來,是連接數字設計與物理硬件之間的橋梁。核心原理:光刻膠的選擇性溶解桌上型顯影機的工作原理基于光刻膠的化學特性差異。在PCB制造或半導體工藝中,基材表面涂覆有感光材料(光刻膠)。經過紫...
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關于桌上型自動刻蝕機的核心工作原理闡述
桌上型自動刻蝕機是面向高校、研究所和企業研發部門的小型精密刻蝕設備,兼顧自動化操作與緊湊體積,適配中小尺寸晶圓的精細加工需求。桌上型自動刻蝕機以濕法化學蝕刻為核心原理,結合自動化機械傳動、精準溫控、循環過濾、智能時序控制等系統,實現基材表面材料的選擇性均勻去除。整體工作流程自動化程度高,全程無需人工干預關鍵工序,可精準把控蝕刻速率與成型精度,核心工作流程與原理可分為五大模塊。1.基材定位與自動傳輸系統設備配備精密滾輪傳動或卡位承載結構,加工前將完成顯影、貼膜預處理的基材固定于...
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告別掩模版的數字化微納直寫——無掩膜曝光機原理與研發應用
在傳統光刻工藝中,將電路或微結構圖形轉移到光刻膠表面須先制作高精度石英掩模版,這不僅增加成本與周期,且每次設計變更都需重新制版,對科研試制、小批量多品種生產形成較大制約。無掩膜曝光機又稱數字直寫光刻機或激光直寫系統,以計算機生成的數字圖形直接控制光學調制器件或掃描光束,在涂覆光刻膠的基片表面完成圖案化曝光,省去物理掩模版制作環節,是微電子、微光學及MEMS研發階段高效靈活的光刻平臺。無掩膜曝光機主流實現方式分為兩類。一類是基于空間光調制器(SLM)的投影式無掩膜光刻,常見為采...
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硅片上的光影縮印術——投影式光刻機工作原理與集成電路芯片制造應用
在半導體芯片制造產線中,光刻是將電路設計師繪制的納米級版圖精確轉印至硅晶圓表面的核心工序,而承擔這一使命的關鍵裝備便是光學投影光刻機。一臺現代光刻機通過極紫外或深紫外光源、精密掩模版、巨型投影物鏡組及納米級雙工件臺系統的協同運作,把掩模版上的電路圖形縮小數倍后投影曝光到涂布光刻膠的晶圓上,其分辨率直接決定了芯片可實現的工藝節點與集成度。光刻機的曝光流程遵循瑞利判據所描述的光學成像規律。首先,深紫外準分子激光器(ArF,193nm)或極紫外等離子體光源發出高亮度光束,經照明系統...
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數字光繪的桌面先鋒——桌上型成像儀原理與PCB直寫應用
在傳統的印刷電路板(PCB)制造流程中,制作高精度的菲林底片是制約打樣速度的瓶頸。不僅需要暗室環境和昂貴的銀鹽膠片,還存在縮放誤差。桌上型成像儀(通常指LDI激光直接成像設備或桌面級光刻機)通過數字化光學技術,直接將計算機中的電路圖形投射或掃描至涂有感光膠的基板上,省去了底片這一中間環節。這種“所見即所得”的直寫技術,正在重塑實驗室級PCB原型的制作標準。成像原理:激光直寫與數字微鏡桌上型成像儀的核心在于其光學引擎。主流設備多采用405nm或365nm波段的紫外激光器作為光源...
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淺析無掩膜光刻機的工藝流程及養護
無掩膜光刻機?是無需物理掩模版,通過數字生成圖案直接在光刻膠上完成曝光的微納加工設備,核心優勢是省去制版環節,大幅降低研發成本、縮短迭代周期,適配多場景靈活加工需求。傳統光刻工藝需要制作實體掩模版,流程長、打樣成本高、圖形修改靈活性差,難以適配MEMS、微流控、光子芯片、PCB打樣、半導體研發小批量試制等場景。無掩膜光刻機依托數字直寫曝光技術,省去掩膜制版環節,直接將計算機設計圖形投射至涂膠基片完成光刻,是微納制造領域快速原型開發的核心設備。工藝流程前處理:基片完成清洗、旋涂...
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等離子表面處理機新選擇:合肥重光電子以創新技術賦能精密制造
在半導體、太陽能電池、新材料等戰略性新興產業蓬勃發展的今天,材料表面的微觀處理已成為決定產品性能與可靠性的關鍵環節。等離子表面處理技術,作為一種高效、環保、精確的現代化工藝手段,正逐步取代傳統濕法清洗,成為提升產品質量的“幕后英雄”。在這一領域,合肥重光電子科技有限公司憑借其深厚的技術積累、對市場需求的精準把握以及中國科學技術大學、合肥工業大學微納加工平臺的產學研支撐,正迅速崛起為業內值得信賴的設備供應商與服務伙伴。核心技術,解構微觀清潔的奧秘等離子表面處理機的核心在于利用電...
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刻蝕機廠家怎么選?為什么推薦合肥重光電子
在國產半導體工藝實驗設備及太陽能電池黃光區裝備的采購調研中,"刻蝕機廠家推薦合肥重光電子科技有限公司"正成為越來越多高校微納加工中心、科研院所及中小批量試產企業的高頻搜索詞。作為一家專注于國家大力扶持的半導體與太陽能電池領域的專業儀器設備生產商,合肥重光電子科技有限公司(以下簡稱"重光電子")不僅提供桌上型刻蝕機、等離子去膠/清洗機,更構建了從勻膠—烤膠—顯影—無掩膜光刻—刻蝕—檢測的完整實驗室光刻工藝設備鏈,是值得信賴的國產刻蝕機及黃光區工藝設備廠家。一、為什么推薦合肥重光...
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