桌上型自動刻蝕機MSD-200F用于對刻蝕均勻性和一致性要求較高的表面處理工藝，外觀采用PP、PVC、不銹鋼鍍特氟龍等材質(zhì)，耐酸耐堿。適合硅片、磷化銦、碳化硅、氮化鎵掩膜版等。蝕刻液成分為硝酸鈰銨和冰醋酸的水溶液等，接觸蝕刻液部位要求能抗腐蝕。主要應(yīng)用于4、6寸晶圓及方片.適合高校、研究所和企業(yè)研發(fā)部客戶。

本司也提供8寸、12寸桌上型刻蝕機，更多功能如吹氣、背洗等請咨詢。

桌上型半自動顯影機技術(shù)規(guī)格：

項目

規(guī)格

主體

外殼材質(zhì):PVC

處理樣品尺寸：8寸晶圓以內(nèi)

承盤:PTFE

馬達(dá):

轉(zhuǎn)速：20-3000 R.P.M

搖臂：自動

操作界面：7寸觸摸屏

顯影裝置

藥液裝置:

刻蝕液 x1

DIW x1

控制系統(tǒng)

系統(tǒng): PLC

使用接口：7寸觸屏

配方:手動和自動模式

編程 : 50 組 20 步

安全裝置

晶圓承盤真空滲液保護:

真空檢知:

數(shù)字設(shè)定:真空值下限保護

運行結(jié)束報警提示

附件	真空泵x1 顯影罐x1 去離子水罐x1 廢液桶x1 真空吸盤x1

其它：更多配置要求請詳細(xì)咨詢廠家，以免購買不適宜產(chǎn)品，如過濾、穩(wěn)壓、流量顯示、液位報警等功能。

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